《表1 SiC纤维束界面层连续化学气相沉积设备技术要求》
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本文以在SiC纤维束表面沉积BN界面层为目标进行纤维束界面层连续化学气相沉积设备的设计。设备技术指标要求见表1。
| 图表编号 | XD00149522300 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.04.20 |
| 作者 | 刘沐函、张磊、林峰 |
| 绘制单位 | 清华大学机械工程系、清华大学机械工程系、清华大学机械工程系 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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