《表1 β-Ga2O3与其他半导体材料特性对比[24]Tab.1 Characteristics comparison betweenβ-Ga2O3and other semiconductor ma

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《Ga_2O_3功率器件研究现状和发展趋势》


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不过,β-Ga2O3材料的劣势在于其电子迁移率和热导率与Ga N和Si C等相比较低,限制了其在高频大功率器件的应用[23],β-Ga2O3半导体材料与其他半导体材料特性对比见表1[24]。