《表1 β-Ga2O3FET的特性》

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《基于Ga_2O_3的场效应器件研究进展》


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本文对Ga2O3材料特性进行了介绍,主要研究了Ga2O3场效应晶体管的发展现状,分析了不同结构FET的器件特性。表1给出了目前报道的几种典型的β-Ga2O3基场效应晶体管的基本性能参数。对Ga2O3功率器件发展过程中存在的问题总结如下: