《表1 磷扩散和磷离子注入太阳电池正面电学参数Tab.1 Front side electrical parameters about phosphorus diffusion and ion imp

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《高效率n型硅离子注入双面太阳电池》

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为进一步验证注入方式与扩散方式引起的电池性能的差异，实验均分了2组硅片，每组200片，分别进行:G1为正面硼扩散+背面磷扩散、G2为正面硼扩散+背面磷离子注入。其中G1与G2组中的硼扩散采用同一炉管进行实验，以减少实验误差。磷扩散电池和磷离子注入电池制备完成后分别测试了电池正面的电学参数和电池背面的电学参数，具体数值见表1和表2。表中:Voc为开路电压；Jsc为太阳电池的电流密度；FF为填充因子，Eff为电池效率。