《表2 Ni-Al合金涂层的晶粒尺寸、硬度和杨氏模量Table 2 The grain size, hardness, and Young's modulus of the Ni-Al al
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由于最大压痕深度低于涂层厚度的1/10，所以可以获得可靠的硬度值和杨氏模量值。表2所列为Ni-Al薄膜的推导硬度和杨氏模量。Ni-Al涂层的硬度范围为8.3到10.9。随Al含量增加，硬度从8.3±0.3 GPa增加到10.9±0.4 GPa，而杨氏模量表现出约200 GPa的恒定值。图7所示为不同晶粒尺寸下，沉积的Ni-Al膜硬度。从表2可知，Al含量和Ni-Al涂层中的晶粒尺寸成反比，若Al含量增加，则晶粒尺寸不断减小。因此，根据Hall-Petch方程，硬度取决于晶粒尺寸:
| 图表编号 | XD0018400200 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2018.06.01 |
| 作者 | 贺殿民 |
| 绘制单位 | 内蒙古建筑职业技术学院机电与暖通工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
