《表2 一些HECs的硬度和弹性模量Table 2 Hardness and elastic modulus of some HECs》

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《高熵合金涂层的研究现状》

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与传统的合金涂层相比，HECs具有优异的机械性能。表2总结了一些HECs的硬度与弹性模量。添加N等元素可以增强HECs涂层的硬度。HECs的机械性能除了受元素组分及其含量的影响外，还受工艺参数的影响。Ren等[29]研究发现，磁控溅射功率和衬底温度会对（Al Cr Mn Mo Ni Zr）N涂层的硬度和弹性模量产生影响。随着溅射功率从150 W增大到250 W，硬度和弹性模量分别从13.1 GPa和200 GPa增大到15.2 GPa和221 GPa，继续增大溅射功率令硬度和模量略有下降；但是随着衬底温度从300 K升高至600 K，该涂层的硬度和模量均呈现上升趋势。