《表3 涂层的纳米硬度与弹性模量Tab.3 Nanohardness and modulus of elasticity of the coating》

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《钛合金表面CrAlTiN单层涂层冲蚀损伤机理研究》


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采用NANO INDENTER G200型纳米压痕仪测量涂层的纳米硬度,采用压入深度控制,压入深度为100 nm。图4是涂层的纳米压痕载荷-位移曲线,表3对应涂层的纳米硬度、弹性模量及H3/E2值。