《表4 模型性能评价指标:基于混合集成建模的硅单晶直径自适应非线性预测控制》
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《基于混合集成建模的硅单晶直径自适应非线性预测控制》
为了验证本文所提的晶体直径混合集成预测模型WPD-ELM-LSTM的有效性,采用三种常用的统计标准来评估直径预测性能,如表4所示.
图表编号 | XD00166711200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.05.01 |
作者 | 任俊超、刘丁、万银 |
绘制单位 | 西安理工大学晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心、陕西省复杂系统控制与智能信息处理重点实验室、西安理工大学晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心、陕西省复杂系统控制与智能信息处理重点实验室、西安理工大学晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心、陕西省复杂系统控制与智能信息处理重点实验室 |
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