《表3 微驱动系统运动学分析》

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《一种亚微米压电柔性微动系统设计及性能分析》

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对机构的9个螺纹孔圆柱面施加固定约束，在之前制作的印记位置施加位移条件，每次施加位移可在输出机构获得一次输出位移。例如，在对印记处施加一个输入位移1.5μm时，可以利用探针功能计算出输出机构外表面中心位置的输出位移为1.476 5μm，如图5所示。在系统运动范围（即压电陶瓷致动器伸长量范围）为0～15μm时，分别计算10次输入位移的系统输出位移值。系统的运动学分析结果如表3所示。