《表1 柔性铰链材料参数：一种亚微米压电柔性微动系统设计及性能分析》

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《一种亚微米压电柔性微动系统设计及性能分析》

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微动机构包含20个对称分布的柔性链接，因此，选用材料时应考虑在不大于材料的塑性变形极限的前提下得到最大的变形，还需考虑柔性机构的加工问题，因此在选用弹性铰链的材料上时要进行综合考虑。现有研究认为QBe2、60Si2Mn、65Mn是柔性铰链较为理想的材料，这几种材料的参数如表1所示。综合考虑材料各参数以及国内外柔性铰链材料使用的经验，采用弹簧钢材料60Si2Mn作为微动机构的加工材料，并用线切割方法进行加工以保证机构的精密加工。