《表1 仿真结果数据表:基于GMA二维柔性铰链平台的传动特性与分析》

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《基于GMA二维柔性铰链平台的传动特性与分析》


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为了求得此直圆角柔性铰链微位移平台中所同时施加的相等外力F与工作台位移δ之间的关系,先取一组仿真结果的数据,运用有限元软件ANSYS Workbench对每组力与位移进行计算分析。设置柔性铰链定位平台的单位尺寸为1 mm,进行网格划分。得到相对应的工作平台的载荷FX、FZ和位移δX、δZ之间的数据,各组数据如表1所示。