《表3 主要制造商的SiC MOSFET商业产品》

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《SiC功率器件在轨道交通行业中的应用》

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Si C MOSFET是目前最受关注的Si C开关器件[13]，这是由于采用与硅材料类似的热氧化工艺进行SiC MOSFET器件结构的制备。因此，在理想情况下，SiC MOSFET可以在大量应用中实现对Si MOSFET的“直接替换”，并且还能拥有更高的阻断电压和更小的比导通电阻[14]。目前已有Cree，Infineon，Rohm等多家公司提供SiC MOSFET商用产品（如表3所示[15-18]）。