《表3 微电子器件用半导体材料的优值比较[3]》

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《半导体材料范畴的界定》

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从表3可知，四代材料的优值具有数量级的差距，这也是微电子器件用半导体材料代系划分的主要依据，但它们有各自不同的应用领域，不完全是替代关系。其中一代的硅、锗材料，二代的砷化镓材料属于成熟材料，已广泛应用，尤其是硅材料在可预见的未来是不可替代的；二代的磷化铟材料，三代的碳化硅、氮化镓材料处于成长期，应用前景广阔；四代材料及二维材料处于培育期，具有重要应用价值。