《表1 室温下不同Ar/O2气氛下TiO2薄膜的溅射速率》

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《TiO_2的制备及其在钙钛矿太阳电池中的应用》

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为了研究不同的衬底温度、生长气氛和表面形貌对TiO2薄膜和最后钙钛矿太阳电池电学性能的影响，在不同条件下制备了TiO2薄膜。表1是室温时不同的溅射气氛，即不同氩气与氧气的体积流量比下制备薄膜的溅射速率比较。可以看到，随生长气氛中氧气的加入，溅射速率迅速降低然后上升。