《表2 膜层溅射速率：触摸屏用低方阻PET导电薄膜镀膜工艺研究》

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《触摸屏用低方阻PET导电薄膜镀膜工艺研究》

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实验前需预先测定各层膜物质的溅射速率，实验设定固定功率，调整镀膜走速，获取较厚的膜层，利用台阶仪进行膜层厚度测定。根据实验测定，得出AKT XL-1400卷绕镀膜设备各膜层溅射速率，见表2。