《表1 热压烧结工艺：TiAl镀膜靶材制备工艺对硬质涂层的性能影响研究》

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《TiAl镀膜靶材制备工艺对硬质涂层的性能影响研究》

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按照1.2中所述的粉料配比和球磨工艺对粉料进行预处理，然后取小于100μm的粉料装入表面涂有BN的石墨模具中。将装有粉料的石墨模具置于真空热压炉中，抽真空至5×10-3Pa后，按照表1中的热压烧结工艺制备得Ti Al合金靶材。