《表1 钽粉性能对比：烧结钽靶材用超细钽粉的生产工艺研究》

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《烧结钽靶材用超细钽粉的生产工艺研究》

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由表1可以看出，样品A、B、C与原料钽粉相比，具有低的氧含量，钽粉的氧含量与钽粉一次颗粒的比表面积成正比，其比表面积越大，活性越高，相应的氧含量越高。本工艺通过将比表面积较大的高比容钽粉在2 000℃高温下进行烧结，使细小的一次颗粒发生凝结、粘连、长大，并趋于均匀化和致密化，大大降低钽颗粒的内部孔隙，从而减小了比表面积，使钽颗粒活性大大降低，所以其氧含量大幅降低。