《表3 钽粉球化前后的粉体特性》

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《选区激光熔化成形用钽粉的射频等离子体球化》

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对射频等离子体球化前后钽粉的松装密度、振实密度、流动性能以及氧含量进行测试，结果如表3所示。由表可见，球化处理可显著改善钽粉的流动性能，并提高钽粉的松装密度与振实密度。球化钽粉霍尔流速为5.98 s/50g，且松装密度由3.503 g/cm3提高到9.463 g/cm3，振实密度由5.344 g/cm3提高至10.433g/cm3，增幅分别达170.1%、95.2%。这是由于钠还原钽粉为结节不规则状，不可避免地存在团聚和搭桥现象，流动性能差。而随着钽粉球化率的提高，球形颗粒之间接触面积减小，摩擦力降低，故流动性能、松装密度、振实密度同时改善。另外，球化处理后，球形钽粉氧含量相较于原料粉降低了36.7%，这表明惰气气氛下射频等离子体对钽粉有较好的纯化作用。在球化过程中，部分高氧小颗粒钽粉由于等离子体的超高温（约104 K）特性，发生气化、蒸发，成形纳米钽粉，且因Ar气流作用粘附于反应室内壁，未被收集，故球化钽粉氧含量降低。古忠涛等[11]研究了射频感应等离子体球化处理对钛粉化学成分的影响。研究发现，其可在一定程度上降低钛粉中C、O、H、N等气体杂质元素含量，而Ti元素含量略有增加，可见射频等离子体对球化粉末有一定的纯化作用，其结果与本实验一致。