《表2 射频等离子体球化工艺参数》

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《选区激光熔化成形用钽粉的射频等离子体球化》

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实验原料采用商用钠还原钽粉，粉末粒度为10～60μm。原料钽粉纯度≥99.9%，氧含量为0.076%，具体化学成分如表1所示。实验采用TEKNA-40 kW射频等离子体制粉系统对原料钽粉进行球化处理。射频等离子体球化处理采用电离能较低的惰性氩气作为中心气，以保持等离子体弧的稳定。为提高等离子体热导率，实验鞘气采用氩气、氦气混合气，其流量比为5:2。实验用氩气作为载气将还原钽粉原料经送粉探针载入等离子体高温区，在等离子体高温和高热传导作用下，颗粒迅速表面熔融或气化，并快速进入球化反应室，熔融或气化的钽在鞘气的极冷与自身表面张力作用下自然收缩球化，制得球形钽粉。具体实验参数见表2。为探索球化钽粉的选区激光熔化成形适用性，采用EOS M290设备开展钽的3D打印成形实验，成形基板采用Ti6Al4V钛合金，预热温度约100℃，成形激光功率200 W，扫描速度650 mm/s，铺粉层厚20μm，扫描间距80μm，层间夹角67°。