《表3 射频等离子球化工艺参数》

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《球形钨粉的制备及粉末特性研究》

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采用射频等离子体球化设备对钨粉进行球化处理，其设备主要包括等离子体发生装置、送粉装置、收集装置和冷却装置[21]。该设备以氩气为工作气体建立稳定运行的氩气等离子体弧，温度场的最高温度可达104 K。以氩气为载气，将烘干后的原料钨粉经加料枪送入等离子体炬中，粉末颗粒在等离子体炬内快速经历吸热、熔化和凝固三个过程，形成致密的球形粉末[22]。射频等离子体球化粉末原理如图1所示，钨粉球化试验具体工艺参数列入表3。