《表1 射频等离子球化工艺参数》

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《球形钨粉的制备及应用》

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采用射频（RF）等离子球化设备对原料钨粉进行球化处理，其设备主要包括等离子体发生装置、送粉装置、收集装置和冷却装置[20]。该设备以氩气为工作气体建立稳定运行的氩气等离子弧，同时以氩气为载气，将原料钨粉经加料枪喷入等离子腔中，在辐射、对流、传导等传热机制作用下，使粉末迅速被加热至整体或部分熔化，熔融的粉末颗粒在表面张力的作用下快速凝固收缩，形成致密的球形粉末[21]。射频等离子球化粉末原理如图1所示，钨粉球化实验具体工艺参数列入表1。