《表1 射频等离子球化钽粉的工艺参数》

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《射频等离子体制备球形钽粉及其性能表征》

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使用Tek Sphero 40型射频等离子体系统（Tekna Co.Ltd.Canada）对原料钽粉进行球化处理，球化装置如图1所示。该系统主要包括射频等离子炬、可编程逻辑控制器（PLC）、射频发生器、粉末供给系统、真空系统、粉末收集室以及水冷系统。实验以高纯氩作为等离子气体，在电场激发下产生等离子体，以高纯氩气作为鞘气，用于冷却等离子体系统的石英管。粉末原料通过氦气（载气）以恒定的供给速率送入等离子炬，在此过程中，粉末颗粒被迅速熔化并经历固?液相变，液态颗粒在表面张力的驱动下球化、凝固，最终被收集在粉末回收罐中，实验所用的工艺参数如表1所示。