《表2 球化前后钽粉杂质元素质量分数》

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《射频等离子体制备球形钽粉及其性能表征》

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球化前后钽粉中杂质元素的含量（质量分数）如表2所示。由于整个球化过程中的气氛保护，球化前后钽粉中的间隙元素含量没有发生显著变化。另外，图6的球化前后钽粉X射线衍射图表明，球化后钽粉没有出现其它相，充分验证了射频等离子体球化技术制备球形钽粉的可行性。图7给出了球化后钽粉的表面形貌及截面照片。如图所示，球化后的钽粉表面光洁，球形度良好；对粉末进行截面检查未发现有空心粉缺陷，充分确保了增材制造时的工艺稳定和成形零件的质量可靠。