《表1 石英砂的主要杂质元素质量分数单位：μg/g》

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《石英砂高温氯化提纯研究》

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采用国内石英砂1、国内石英砂2、国外石英砂3作原料，杂质质量分数见表1。氯化剂采用的是干燥的Cl2（纯度99.5%）、HCl气体（纯度99.5%）及其不同比例的混和气体。自主设计并制造了氯化焙烧装置，如图1所示。