《表1 常见生产工艺制备的ITO靶材性能Tab.1 Properties of the ITO target made by conventional meth-ods》
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ITO靶材的生产工艺可以分为三种:热等静压（HIP）法、热压（HP）法和烧结法，针对不同工艺目前ITO靶材的性能参数如表1所示，目前日本采用MMF制得的IT靶材密度达7.11 g/cm3，相对密度约99.5%，产品性能世界领先。
| 图表编号 | XD0048327800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.01.01 |
| 作者 | 陈正伟、刘舒、步怀立、高光伟 |
| 绘制单位 | 沈阳恒进真空科技有限公司、沈阳恒进真空科技有限公司、沈阳恒进真空科技有限公司、沈阳恒进真空科技有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
