《表1 不同压力下靶材质量Tab.1 The target material quality under the different pressure》

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《影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素》


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实验的粉末中，粘结剂2%；水分5%。压力分别为20MPa、30MPa、50MPa、60MPa、80MPa。靶材毛坯密度随压力的增大而增大。图4为毛坯相对密度与压力的关系。靶材质量实验结果见表1:

图表编号XD0060831500    严禁用于非法目的
绘制时间2019.02.25
作者杨小林、扈百直、刘秉宁、李正飞、马肖
绘制单位西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司、西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司、西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司、稀有金属特种材料国家重点实验室、西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司、西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
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