《表3 优化影响因素后的靶材冷压结果Tab.3 The cold pressing results of the target material after optimization of influ

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《影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素》

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以上分析了ITO靶材毛坯在冷压时产生质量问题的原因，通过实验得到不同压力、不同粘结剂掺入量及粉末含水量的实验结果，并分析了其它因素对靶材质量问题的影响。在靶材冷压过程中，各种因素的影响相互联系，并达到一定程度的互补。粘结剂掺入量高一点，含水量多一些，冷压压力就可以小一些。对各种影响因素优化，可达到消除靶材毛坯质量问题。表3为采用改进模具、分段加压的冷压工艺后大尺寸ITO靶材冷压结果。