《表1 谐振腔性能参数与器件结构参数的关系》
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谐振腔增强型GPD是基于将光波限域在腔镜内，发生多光束干涉增大光波的谐振波长，近而增大石墨烯中的光生载流子，最后提高光电探测器的感光响应度。该类型GPD非常适合于波分复用解复用系统，在无偏压条件下工作，易于与微电集成且具有很好的波长选择性。2012年，Engel等[28]首次提出将平面光学微腔与石墨烯晶体管进行集成，顶层反射镜和底层反射镜分别采用Ag，Au两种金属材料，石墨烯置于腔中间位置，研究证明光电流增大了20倍左右。缺点是Ag、Au两个反射镜因对入射光产生部分吸收，增加了额外损耗。同年，Furchi等[29]用半导体材料构成的布拉格反射镜代替金属反射镜，如图9所示，腔中放入一层Si3N4作为缓冲层，且石墨烯位于腔内光场强度最大的位置，最终测得探测器的响应度高达21mA/W。但上述实验缺乏详尽的理论分析，因此梁振江课题组于2016和2017年[30-32]，基于麦克斯韦方程组和光线传输理论，分析了谐振腔反射镜反射率、谐振腔腔长结构参数对于器件响应度和半高全宽的影响，具体结果如表1所示:
| 图表编号 | XD0091317300 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.09.01 |
| 作者 | 金文最、赵洪霞、丁志群、王敬蕊、许方祥 |
| 绘制单位 | 宁波工程学院电子与信息工程学院、宁波工程学院电子与信息工程学院、宁波工程学院电子与信息工程学院、宁波工程学院电子与信息工程学院、宁波工程学院电子与信息工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
