《表1 磁电SAW谐振器的器件参数》

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《基于ScAlN/FeGa结构的磁电声表面波谐振器》

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在ScAlN/Ti/FeGa结构上利用反转胶剥离光刻工艺制备SAW谐振器的叉指换能器（IDT）和反射栅。叉指电极为采用直流磁控溅射沉积的金属Al电极，厚为100nm，设计叉指电极对数为40对，叉指电极线宽为4μm，反射栅500条，具体制备器件参数如表1所示。