《表2 正交试验样品及试验条件》

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《基于神经网络的AZO薄膜制备工艺参数的正交优化设计》

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正交试验设计是利用规格化的正交表来设计试验方案的多因素优选方法。通过较少的试验次数找出不同因素水平间的最佳参数组合并得到最佳试验方案，是一种简单、高效的试验设计方法[16]。本试验选取溅射功率（因素A）、溅射时间（因素B）和溅射气压（因素C) 3个因素，每个因素下有3个水平，分别为溅射功率200W、300W和400W，溅射时间为200s、600s和1000s，溅射气压为0.2Pa、0.6Pa和1.0Pa，进行正交设计L9 (33），共进行了9次试验。试验因素和水平呈现于表1，具体试验条件见表2。