《表5 电阻率计算分析数据》

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《基于神经网络的AZO薄膜制备工艺参数的正交优化设计》

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由结果计算分析表4中各因素的极差值可知，对于透射率，rC>rB>rA，说明影响薄膜透射率的最主要因素是溅射气压，其次是溅射时间，再次是溅射功率，其中溅射功率对薄膜透射率的影响极小，影响薄膜透射率的主次顺序为：溅射气压>溅射时间>溅射功率；对于电阻率，由结果计算分析表5中各因素的极差值可知，RB>RA>RC，影响薄膜电阻率的主要因素是溅射时间，其次是溅射功率，再次是溅射气压，影响薄膜电阻率的主次顺序为：溅射时间>溅射功率>溅射气压。