《表1 氮化钛/氧化锰复合薄膜中各元素的含量》

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《氮化钛/氧化锰复合薄膜制备及其SERS特性研究》

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由图2可知，氮化钛/氧化锰复合薄膜中含有C、N、O、Ti和Mn元素，其含量如表1所示。对Mn2p窄谱进行分峰拟合，如图2（b）所示，图谱中结合能为640.8 eV处的峰对应MnO，结合能为642.4 eV和653 eV处的2个峰对应Mn2O3，在结合能为644.6 e V和656.2 e V处的峰对应MnO2，说明Mn元素以多种价态形式存在于复合薄膜中[8]。