《表1 台阶真值、测量值、补偿值及误差》

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《直接相位测量偏折术中显示屏折射效应补偿方法》

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对一个台阶进行了测量。将三坐标测量机（测量误差为±1μm）获得的相邻台阶面间的距离作为真值。然后利用本文方法求得补偿前的深度数据及补偿后的深度数据。以某一台阶面作为基准面，选取基准面内一个有效区域，利用该区域深度值拟合一个平面，计算相邻台阶面有效区域内的点到拟合平面的垂直距离的平均值，将其作为相邻台阶面间距离的测量值。在进行台阶面间距离计算时，补偿前及补偿后所选取的有效区域是一致的。测量结果如表1所示。恢复的台阶三维形貌如图10所示。根据表1中数据可以看出，深度数据补偿后，计算的距离值更加接近真值，证明系统测量精度会受到折射效应的影响，利用本方法可适当提高精度。