《表1 台阶面高度测量值：一种微米级高度台阶镜面条纹反射的三维测量系统》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《一种微米级高度台阶镜面条纹反射的三维测量系统》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

图8(a）为计算得到的整个测量结构的光线追迹图；以相机光心为世界坐标系原点，相机光轴为世界坐标系Z轴，连接光心和像面上的对应点为反射光线，连接LCD在位置1和位置2处的正弦条纹的相位映射同名点得到入射光线，入射光线和反射光线相交得到台阶镜面表面轮廓，如图8中蓝色待测面所示．将得到的待测面离散点数据进行平面拟合[23]，图8(b）为得到的拟合残差图，可以清晰看到待测台阶镜面样品上的两个台阶面；其中，红线标出的部分为本文分析的台阶截面，如图9(a）和（b）所示，分别对应5μm和10μm台阶的测量结果．图9中横坐标为像素坐标，纵坐标对应该点的高度值．为验证精度，采用白光干涉显微镜（型号：Bruker，GTK）对所测台阶样品进行三维显微测量．图10为已扣除倾斜的白光干涉显微镜台阶截面测量结果．表1显示为本文方法和白光干涉显微镜测量结果的对比，可以看出本文方法测量微米级台阶镜面的精度基本可靠，同时单次测量区域（～20mm×10mm）相比白光干涉显微镜（1mm×0.8mm）有明显优势，具有较好应用前景．但是，本文方法台阶测量结果的不确定性相对较大，这主要是由于相位测量噪声和系统标定误差影响了三角交汇计算的精度，后续可以通过建立更精密的标定模型和采用更高像素分辨率的相机来进一步提高系统的测量分辨率和测量精度．