《表1 白光干涉仪测量18nm台阶高度标准片数据》
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nm
使用CCI白光干涉仪的高度自校准功能，用VLSI18nm台阶高度标准片对仪器进行了高度校准。校准后测量标准片的实测数据见表1。
| 图表编号 | XD00118725800 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.12.25 |
| 作者 | 郭小冬、刘迎红、牛春霞、杨静、李明易 |
| 绘制单位 | 北京航天控制仪器研究所、北京航天控制仪器研究所、北京航天控制仪器研究所、北京航天控制仪器研究所、北京航天控制仪器研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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