《表1 AE-100白光干涉仪部分参数》

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《涂层表面形貌的分形表征研究》

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采用白光干涉仪（图1、表1）采集表面三维形貌，其中，AE-100设备及软件部分为此测量系统的主要组成部分，软件部分由采集部分及分析部分组成，采集部分可以得到实验的干涉图像及高度数据；分析部分则可以计算粗糙度、还可以生成3D图像。白光干涉仪的实验流程如图2所示。