《表2 白光干涉仪测量Ra12nm多刻线样板数据》

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《基于白光干涉仪的轴尖表面粗糙度检测技术研究》

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在CCI白光干涉仪上，测量经国家计量院校准的Ra12nm多刻线样板。由表2数据，偏差仅为0.12nm（相对偏差1.15%），很好地复现了标准样板的校准值，实现了粗糙度量值的准确溯源。