《表1 激光干涉仪主要性能参数指标》

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《数控铣床定位精度测量及误差补偿研究》

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本文利用激光干涉仪对数控铣床的定位误差进行精密检测。测量系统由雷尼绍XL-30激光干涉仪、光学镜组、数据采集卡、计算机等组成。雷尼绍XL-30激光干涉仪的主要性能参数如表1所示。