《表3 激光干涉仪与平面光栅尺的位置精度对比》

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《基于平面光栅尺的掩模台位置误差分析与验证》

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从表3可以看出：去掉部分重复性后的干涉仪的精度约为0.2μm，而平面光栅尺模型经三次校准后，精度约为5nm，与第一次校准精度相比，三次校准后的精度明显提高。实验证明，该方法确实可以在很大程度上提高平面光栅尺的测量精度。