《表2 平面光栅尺的三自由度耦合系数》

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《基于平面光栅尺的掩模台位置误差分析与验证》

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从表2可以看出：平面光栅尺模型经上述方法测量校准后，其值已收敛至一定量级上；有些系数会变大，有些则会减小，这主要是因为耦合是相对的，当其中一项耦合误差变大时，其对应的自由度的影响就会减小，最终达到一种平衡。本次实验根据仿真结果设定校准连续循环组数为3，每组进行9次，共27次。