《表1 重复性实验结果：空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪》

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《空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪》

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在验证所提出的平面光栅干涉仪能够同时测量x和y两方向上的位移后，本文进行了重复性实验进一步体现其测量能力。令纳米位移台在x和y两测量方向上各做10次运动，位移均为30μm。由光栅干涉仪测量得到的实测数据、10次测量数据平均值以及由Bessel公式计算得到的标准差如表1所示。