《表4 分辨率实验结果：基于压电陶瓷驱动的六自由度空间光学拼接系统》

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《基于压电陶瓷驱动的六自由度空间光学拼接系统》

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为了研究“输入耦合”对运动的影响，实验采用了两种控制模式。第一种模式采用了集成在PZT中的应变片测量PZT的输出位移，PZT在此模式下输出期望位移（局部闭环）。第二种模式在驱动模块的末端放置了一个位移传感器，驱动模块能够在此模式下输出期望位移（全局闭环）。与第一种模式相比，第二种模式可以消除“输入耦合”现象。为了定量描述运动的耦合，定义耦合率为最大非期望位移除以每个自由度运动的期望行程。表4列出了工作空间实验的结果，其中要求距离是光学系统所需的行程。可以看出，在第二种控制模式下，LVDT传感器的行程限制了运动范围（运动行程等于位移传感器的测量范围）。考虑到安全性，在第一种控制模式下，每个自由度的运动都被驱动到相同的范围。需要注意的是，其实际最大行程均大于表4所列的值。在第二种控制模式下，耦合运动明显受到限制。特别是当X和Y旋转时，解耦率近似等于其他自由度的解耦率。