《表2 测量结果及误差：激光光栅干涉技术的微位移测量研究》

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《激光光栅干涉技术的微位移测量研究》

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相位分辨力为相位测量的灵敏度，也就是可测量的最低相位变化，以0°相位差附近的相位点进行实验，检测其相位分辨率。检测时应用的标准相位差信号为基于FPGA（Field Programmable Gate Array）现场可编辑逻辑门阵列，采用Verilog语言实行编程，并由对分频计数器对各原始值予以设置，生成参考与测量信号的原始相位差，此相位差便为被检测的小数相位信号；并且对于分频比的改变可采用更改程序内计数器的方式实现，以此对多普勒频移完成模拟，对造成测量信号的频率变化进行改变，生成整数相位信号。通过本文方法测得相位测量值与依据标准相位差得出的相位误差结果见表2所示。