《表1 基于光栅的位移测量系统优缺点对照表》

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《光栅精密位移测量技术发展综述》

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综上所述，基于光栅的位移测量技术已经从传统的透射型双栅线位移形式发展到平面位移、三维位移形式，同时衍生出了多种以光栅衍射为基础的高精度位移测量系统，本文将几种有代表性的光栅测量系统的优缺点列于表1所示。