《表1 微位移检测系统测量结果》

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《差分电容测量在微位移检测中的应用》

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为了验证微位移检测系统的检测精度，以扭振系统作为振源，振动系统的扭力杆长度为20 cm，振动频率为100 Hz，振幅控制在0.1～1 mm。将电容极板固定在扭力杆两侧，启动测量系统，扭振系统振动量自0.1至1 mm逐渐增大，输出结果见表1。由表可知，测量的振幅值与实际振动值的基本一致，且振动量越小，相对误差越大。