《表2 不同电压下微驱动器尖端位移和偏转角的实验测量结果》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《基于Si弹性层优化的悬臂梁式微压电驱动器》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

工作时，驱动电源装置在压电陶瓷片上施加一定规律变化的电压，激光指针产生的激光经过压电驱动器的Si反射镜后，在荧光屏幕上显示出图形，最后通过图形计算得出此电压下微驱动器的尖端位移。如图7所示，固定压电元件和激光指针且保持同轴，将仪表端子上的引线连接至驱动电源装置，测量压电元件与屏幕的距离（L），将电压按照从0V至+100 V、+100 V至-100 V、-100 V至+100 V、+100 V至0V的规律变化，且每20 V记录一次，得到在屏幕上的线段长度（H），可计算得到Si反射镜尖端偏转角（θ）（图8），从而计算出不同电压下的尖端位移，所测数据如表2所示。