《表1 极限位置测量值：基于电涡流位移传感器的微间隙测量系统研究》

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《基于电涡流位移传感器的微间隙测量系统研究》

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（mm）

将A、B、C、D 4组待测铝薄片分别距离电涡流位移传感器探头距离为0mm时进行3次测量，然后将3次实验的测量距离均值作为4组待测铝薄片在实际位移为0mm时的测量位移，实验测量结果如表1所示。