《表3 y轴位移测试结果：基于容栅传感器的二维微小位移测量方法研究》

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《基于容栅传感器的二维微小位移测量方法研究》

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如图8所示，旋动y轴方向的旋钮使物体在y轴正向和负向分别产生微小位移，测试结果如表3所示。沿y轴正向发生位移时，通道1差分输出电压减小，通道2差分输出电压增大，沿y轴负向发生位移时则相反。面积发生变化时极距始终保持不变。