《表1 重复性验证：基于容栅传感器的二维微小位移测量方法研究》

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《基于容栅传感器的二维微小位移测量方法研究》

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由带有两个千分尺的模拟测试台给定位移量，以传感器电容值刚好为0 pF时位置为初始位置，随机选取10个位置坐标点，计算每个位置对应的理论电容值，用LCR表重复5次测量每个坐标位置实际电容值并取平均值，利用贝塞尔公式计算标准偏差进而计算重复性，结果如表1所示。