《表1 测量重复性结果:基于最小二乘法的非接触缺陷检测方法研究》

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《基于最小二乘法的非接触缺陷检测方法研究》


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为验证非接触测量的测量重复性,采取对同一缺陷进行多次测量,以测量结果的一致性来评定测量方法的重复性,本次测量共重复测量7次,测量结果取得的峰值如表1所示。